半导体材料气体检测XP-703DⅢ

检测原理：热线型半导体式

采样方式：自动吸引式

检测对象：H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

检测浓度：1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm

产品特点

·  小型·轻量

·  可以检查非常微量的气体泄漏

·  适合氢气相关设备的安全防护

·  搭载的泵有自动停止功能

·  搭载[自动气体排气模式]功能

·  保护等级约为IP22（JIS C  0920）※安装皮套时

产品用途

·  半导体工厂/石油化学工厂等

·  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

应用行业：半导体制造

产品参数