TP-70DGⅡ气体探测器
TP-70DGⅡ气体探测器
用于C4F6・C5F8・COS的检测器
单触式的传感器更换方式
搭载新型智能化传感器
采用易于观察的大型字符LCD
搭载流量自动调整功能
用途:用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS
用于对储气瓶存放柜及半导体制造装置进行检测
用于无尘室内的环境监测
产品类别 | 固定式 |
类型 | 智能型检测部 |
检测对象气体 | C4F6/C5F8/COS |
检测原理 | 催化+定电位电解式 |
检测范围 | 0~5ppm(C4F6・C5F8) |
报警设定值 | 1st:2ppm/2nd:4ppm(C4F6・C5F8) |
检测方式 | 泵吸式 |
报警种类 | 气体报警/故障报警 |
报警内容 | 1st:ALM1指示灯闪烁、或亮灯(红色) |
电源 | AC100~240V±10% |
外形尺寸・重量 | 约180(W)×225(H)×285(D)mm(不包含突起部分) |
使用时的温湿度范围 | 20~40℃(无骤变) |
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