北京亿赛得科技发展有限责任公司
建筑工程检测仪器 , 激光测距仪 , 望远镜夜视仪 , 无损检测仪器
TP-70DGⅡ气体探测器

TP-70DGⅡ气体探测器  


用于C4F6・C5F8・COS的检测器


TP-70DGⅡ气体探测器.png

特征:通过采用含有催化剂的热分解器,实现减少干扰带来的影响
单触式的传感器更换方式
搭载新型智能化传感器
采用易于观察的大型字符LCD
搭载流量自动调整功能
用途:用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS
用于对储气瓶存放柜及半导体制造装置进行检测
用于无尘室内的环境监测

产品类别

固定式

类型

智能型检测部

检测对象气体

C4F6/C5F8/COS

检测原理

催化+定电位电解式

检测范围

0~5ppm(C4F6・C5F8)
0~15ppm(COS)

报警设定值

1st:2ppm/2nd:4ppm(C4F6・C5F8)
1st:5ppm/2nd:10ppm(COS)

检测方式

泵吸式

报警种类

气体报警/故障报警

报警内容

1st:ALM1指示灯闪烁、或亮灯(红色)
2st:ALM2指示灯闪烁、或亮灯(红色)

电源

AC100~240V±10%

外形尺寸・重量

约180(W)×225(H)×285(D)mm(不包含突起部分)
约6.0kg

使用时的温湿度范围

20~40℃(无骤变)
40~70%RH(无结露)




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